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제품 정보
공정 상태 변동 모니터링 기술 개발
| Date | 2018.04-2019.04 |
|---|---|
| Funding | 삼성디스플레이 |
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연구목표
- PM(Preventive Maintenance)의 빈도가 높은 ELA공정을 대상으로 공정 상태의 변화를 동적으로 탐지할 수 있는 기술개발
- PM에 의한 데이터 분포 변화에 강건한 visibility 예측 모델링
연구결과
- FDC data의 변수 별 중요도, PM 주기에 반응하는 변수 파악
- 실시간 FDC data의 군집 배정 알고리즘 개발 및 데이터 스트림 환경에서의 군집 변화 탐지 기법 개발
- 밀도 기반의 DBSCAN 알고리즘을 사용해 손쉽게 이상치 제거 및 다양한 모양의 군집 분포에 대해 군집
- 데이터 스트림 환경에 대응하기 위해 Training window를 도입해 군집 변화 탐지 및 재 군집
- 각 군집에 대한 visibility 예측 모형 학습
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